案例分享：兆和為電子制造企業打造排放達標、運行經濟的VOCs治理系統
半導體行業VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序。在這些工序過程中，使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分，這些有機溶劑大部分會揮發到空氣中，逸散在生產車間內，不僅會對員工身體造成很大的傷害，也會對周圍環境造成很大的污染。為改善某半導體制造企業生產車間環境，兆和針對該項目廢氣特點為企業設計了一套VOCs治理系統，經系統處理后的尾氣濃度遠低于國家及地方標準，同時大幅降低了企業的運行成本。
某半導體制造企業轉輪+RTO廢氣處理系統
項目概況
本項目有機廢氣主要成分包括異丙醇（約占75~80%）、丙酮（約占15~20%）、光刻膠（約占5~10%）及其他需特殊處理組分，平均濃度≤350mg/m3。
工藝選擇原則：
（1） 保障系統安全、穩定、達標運行；
（2） 不影響甲方的生產工藝和質量；
（3） 采用成熟的技術及設備，實現系統的安全穩定運行；
（4） 系統布置便于安裝、操作及檢修，便于運行管理。
兆和解決方案
本項目針對客戶車間尾氣，整體設計處理能力85000Nm3/h，采用了兆和特殊設計的預處理+沸石轉輪系統+RTO+余熱利用系統，使處理之后的排放濃度常年低于5mg/m3，治理排放指標遠遠優于國家及地方最新排放標準。相較于該行業傳統的治理工藝——直燃爐TO技術，當前使用的處理工藝能夠節省大量運行費用，根據目前項目的運行數據測算（對比該客戶其他廠區運行數據），燃氣費用可節省60%-65%。
項目風采
兆和歷經28年發展，憑借優秀的系統工藝設計、項目組織管理能力，已成為一汽解放、阿克蘇諾貝爾、中糧集團、東陽光藥業等行業龍頭企業的合作伙伴，為客戶提供了多套安全、高效、節能的VOCs系統解決方案，積累了豐富的項目設計和實施經驗。兆和持續為客戶創造價值，助力雙碳目標達成。
